Рассмотрено математическое моделирование сверхвысокочастотной обработки диэлектрика при движении одной или нескольких излучающих систем относительно плоского нагреваемого объекта. Предложены модели распределения внутренних источников теплоты по объему диэлектрика. Решены задачи двумерной и трехмерной задач теплопроводности с движущимися источниками теплоты. Получены оптимальные параметры сверхвысокочастотной мощности и скорости движения излучающей системы для случая термообработки грунта.