Предложены математические модели электродинамики и теплопроводности при сверхвысокочастотной термообработке диэлектриков, которые позволяют решать задачи оптимизации технологических процессов и установок, управления их рабочими режимами. Рассмотрены задачи управления термообработкой диэлектриков в сверхвысокочастотных установке лучевого типа, работающих в периодическом и непрерывном режимах. Рассчитаны оптимальные режимы нагрева плоских диэлектриков в данных установках.